HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Características do produto
- High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
- Designed for long lasting performance
- Designed for long lasting performance
- Qualified with ASML
Áreas de aplicação
- Microlithography
Instruções de segurança
Devido à sua alta luminância, radiação UV e alta pressão interna (quando quente), as lâmpadas HBO só podem funcionar em equipamento com revestimento da lâmpada fechado especialmente construído para esse fim. Mercúrio é libertado se a lâmpada se partir. Precauções especiais de segurança devem ser tomadas. Informações sobre segurança e manuseamento estão disponíveis mediante solicitação ou podem ser encontradas no folheto incluído na lâmpada ou nas instruções de funcionamento.
Devido à sua alta luminância, radiação UV e alta pressão interna (quando quente), as lâmpadas HBO só podem funcionar em equipamento com revestimento da lâmpada fechado especialmente construído para esse fim. Mercúrio é libertado se a lâmpada se partir. Precauções especiais de segurança devem ser tomadas. Informações sobre segurança e manuseamento estão disponíveis mediante solicitação ou podem ser encontradas no folheto incluído na lâmpada ou nas instruções de funcionamento.
Mais sobre a família de produtos
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Produtos
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Ficha de dados do produto | ||
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HBO 1003 W/PIL
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1003 W | 27.1 V | 85.0 mm | 195.0 mm | ||
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HBO 1500 W/PIL
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1500 W | 23 V | 118.0 mm | 273.0 mm | ||
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HBO 2100 W/PIL
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2100 W | 24 V | 118.0 mm | 240.0 mm | ||
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HBO 2500 W/PIL
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2500 W | 28.0 V | 149.0 mm | 340.0 mm | ||
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HBO 3500 W/PIL
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3500 W | 23 V | 154.0 mm | 360.0 mm |